表面化学分析是一种研究材料表面化学组成和结构的方法，深度剖析技术是表面化学分析中的一种重要手段。深度剖析技术可以通过对材料表面进行离子轰击，使得材料表面的原子和分子逐渐被剥离，从而得到材料的深度剖析信息。深度剖析技术在材料科学、化学、物理等领域有着广泛的应用。

本标准主要介绍了深度剖析技术中离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法。离子束对准是深度剖析技术中非常重要的一步，它可以保证离子束在样品表面的轰击位置准确无误，从而得到准确的深度剖析信息。本标准介绍了离子束对准的原理、方法和注意事项，并给出了具体的操作步骤。

束流或束流密度测量是深度剖析技术中另一个重要的环节。束流或束流密度的大小直接影响到深度剖析的精度和准确性。本标准介绍了束流或束流密度测量的原理、方法和注意事项，并给出了具体的操作步骤。

本标准的实施可以提高深度剖析技术的准确性和精度，为表面化学分析提供更加可靠的数据支持。

相关标准
- GB/T 29976-2013 表面化学分析 深度剖析 X射线光电子能谱法
- GB/T 29977-2013 表面化学分析 深度剖析 原子力显微镜法
- GB/T 29978-2013 表面化学分析 深度剖析 扫描电子显微镜法
- GB/T 29979-2013 表面化学分析 深度剖析 二次离子质谱法
- GB/T 29980-2013 表面化学分析 深度剖析 能量色散X射线荧光光谱法