电子工业用气体中金属含量的测定是电子工业生产过程中的重要环节，对于保证产品质量和生产安全具有重要意义。本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定电子工业用气体中金属含量的方法，为电子工业生产提供了可靠的技术支持。

本标准的主要内容包括：术语和定义、原理、仪器设备、试剂和材料、样品的制备、测定步骤、计算、结果表示和分析、精密度和准确度、检出限和测定范围、质量保证和质量控制、实验室条件和安全注意事项等。

在实际应用中，应根据实际情况选择合适的仪器设备和试剂材料，并按照标准规定的步骤进行样品制备和测定。在计算结果时，应注意精度和准确度的要求，并按照标准要求进行结果表示和分析。同时，应注意实验室条件和安全注意事项，确保实验过程的安全和可靠性。

相关标准
- GB/T 34971-2017 电子工业用气体中非金属杂质的测定 气相色谱法
- GB/T 34973-2017 电子工业用气体中水分的测定 电解质浓度法
- GB/T 34974-2017 电子工业用气体中氧含量的测定 电化学法
- GB/T 34975-2017 电子工业用气体中氮氧化物的测定 红外吸收法
- GB/T 34976-2017 电子工业用气体中硫化氢的测定 紫外吸收法