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大气细粒子是指直径小于或等于2.5微米的颗粒物，也称为PM2.5。它们对人体健康和环境质量都有着重要的影响。因此，对大气细粒子的形貌和元素分析具有重要的意义。微束分析扫描电镜-能谱法（SEM-EDS）是一种常用的分析方法，可以对大气细粒子进行单颗粒形貌和元素分析。

本标准主要包括以下内容：

1.技术要求
本标准规定了SEM-EDS分析仪的技术要求，包括分析仪器的性能指标、样品制备要求、分析条件等。

2.分析方法
本标准详细描述了SEM-EDS分析大气细粒子单颗粒形貌和元素分析的方法，包括样品制备、SEM成像、EDS能谱分析等。

3.数据处理
本标准规定了SEM-EDS分析数据的处理方法，包括能谱峰识别、元素定量分析等。

4.报告编制
本标准规定了SEM-EDS分析报告的编制要求，包括报告内容、数据格式等。

本标准适用于大气细粒子单颗粒形貌和元素分析，可用于环境监测、大气污染源解析等领域。

相关标准：
GB/T 16157-2012 大气颗粒物采样器技术要求和试验方法
GB/T 18604-2017 大气颗粒物化学分析方法
GB/T 18605-2017 大气颗粒物物理分析方法
GB/T 18606-2017 大气颗粒物质量浓度测定方法
GB/T 18607-2017 大气颗粒物来源解析方法