电子背散射衍射技术是一种常用的测定材料晶粒尺寸的方法，其原理是利用电子束在材料表面产生背散射，通过测量背散射衍射图案中的晶格衍射峰的半高宽来计算晶粒尺寸。该方法具有非破坏性、快速、准确等优点，被广泛应用于材料科学研究和工业生产中。

本标准适用于金属材料、陶瓷材料、非晶态材料、晶体材料等的平均晶粒尺寸的测定。测定前需要对样品进行制备和处理，包括样品的切割、打磨、抛光等步骤。测定时需要使用电子显微镜和背散射衍射仪等设备，并按照标准规定的条件进行测量。

本标准规定了测量方法、数据处理方法、结果表示等内容。其中，测量方法包括样品制备、测量条件、测量步骤等；数据处理方法包括背散射衍射图案的处理、晶格衍射峰的识别和拟合等；结果表示包括平均晶粒尺寸的计算和表示方法等。

本标准的实施可以提高材料晶粒尺寸测量的准确性和可靠性，为材料科学研究和工业生产提供技术支持。

相关标准
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