GB/T 38867-2020
电子工业用四氯化硅
发布时间:2020-07-21 实施时间:2021-02-01
四氯化硅是一种重要的化学品,广泛应用于电子工业、化工、冶金等领域。本标准主要针对电子工业用四氯化硅进行规范,旨在保证产品质量,确保产品安全使用。
1. 分类和要求
本标准将电子工业用四氯化硅分为A、B两类。其中,A类四氯化硅适用于半导体材料制备,B类四氯化硅适用于其他电子工业用途。对于A类四氯化硅,要求其纯度不低于99.999%,对于B类四氯化硅,要求其纯度不低于99.99%。
2. 试验方法
本标准规定了四氯化硅的化学分析、物理性质、杂质含量、水分含量等试验方法。其中,化学分析采用气相色谱法,物理性质包括密度、折射率、表面张力等指标,杂质含量包括金属杂质、非金属杂质等,水分含量采用卡尔费休法。
3. 检验规则
本标准规定了四氯化硅的检验规则,包括检验方法、检验项目、检验结果判定等。对于不合格品,应当按照规定进行处理,确保产品质量。
4. 标志、包装、运输和贮存
本标准规定了四氯化硅的标志、包装、运输和贮存要求。对于包装,应当采用无毒、无味、无污染的材料,确保产品不受污染。对于运输和贮存,应当避免阳光直射、高温、潮湿等情况,确保产品质量。
相关标准
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