电子特气是指在电子器件制造过程中使用的气体，其质量和纯度对电子器件的性能和寿命有着重要的影响。氟甲烷是电子特气中的一种，主要用于半导体材料的制备和清洗。为了保证电子器件的质量和稳定性，需要对氟甲烷的质量和纯度进行严格的控制和检测。

本标准规定了氟甲烷的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的内容。其中，技术要求包括氟甲烷的物理和化学性质、纯度要求、杂质含量、水分含量、氧含量、氮含量、氢含量等指标。试验方法包括氟甲烷的物理和化学性质的测定方法、纯度和杂质含量的测定方法、水分含量的测定方法、氧含量的测定方法、氮含量的测定方法、氢含量的测定方法等。检验规则包括氟甲烷的检验方法、检验结果的判定方法等。标志包括氟甲烷的标志、标签等。包装、运输和贮存包括氟甲烷的包装要求、运输要求、贮存要求等。

本标准适用于生产、销售和使用氟甲烷的单位和个人，也适用于氟甲烷的检验机构和监管部门。本标准的实施可以保证氟甲烷的质量和纯度，提高电子器件的质量和稳定性，促进电子工业的发展。

相关标准
GB/T 13611-2017 电子特气 气体纯度的测定方法
GB/T 13612-2017 电子特气 气体杂质的测定方法
GB/T 13613-2017 电子特气 气体水分的测定方法
GB/T 13614-2017 电子特气 气体氧含量的测定方法
GB/T 13615-2017 电子特气 气体氮含量的测定方法