GB/T 17874-2021
电子特气 三氯化硼
发布时间:2021-10-11 实施时间:2022-05-01
电子特气是指在电子器件制造过程中使用的高纯度气体,其纯度要求高,质量指标严格。三氯化硼是电子特气中的一种,主要用于制造半导体材料和光电器件。本标准对电子特气三氯化硼的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存进行了规定。
1. 分类和要求
本标准将电子特气三氯化硼分为A级和B级两类。其中,A级三氯化硼的纯度要求不低于99.999%(体积分数),B级三氯化硼的纯度要求不低于99.99%(体积分数)。此外,本标准还对三氯化硼的杂质含量、水分含量、氧化物含量、氮气含量、氧气含量、氢气含量等质量指标进行了详细规定。
2. 试验方法
本标准规定了电子特气三氯化硼的试验方法,包括纯度测定、杂质含量测定、水分含量测定、氧化物含量测定、氮气含量测定、氧气含量测定、氢气含量测定等。试验方法详细、准确,能够保证三氯化硼的质量指标符合要求。
3. 检验规则
本标准对电子特气三氯化硼的检验规则进行了规定,包括检验方法、检验项目、检验频次、检验结果判定等。检验规则严格,能够保证三氯化硼的质量符合要求。
4. 标志、包装、运输和贮存
本标准规定了电子特气三氯化硼的标志、包装、运输和贮存要求。标志应明确、醒目,包装应符合运输和贮存要求,运输和贮存应注意防潮、防晒、防火等安全措施。
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