电子特气是指在电子器件制造过程中使用的气体，具有高纯度、低杂质、低水分、低氧含量等特点。三氟化氮是电子特气中的一种，主要用于半导体材料的制备和表面处理。本标准对三氟化氮的物理化学性质、质量指标、检验方法等进行了规定，以保证其质量和安全性。

1. 物理化学性质
三氟化氮是一种无色、无味、有刺激性气味的气体，密度比空气大，易溶于水和有机溶剂。本标准对其物理化学性质进行了详细的描述，包括相对分子质量、密度、沸点、熔点、水溶性、酸度、氧化性等指标。

2. 质量指标
本标准对三氟化氮的质量指标进行了规定，包括纯度、杂质含量、水分含量、氧含量等指标。其中，纯度要求不低于99.9%，水分含量不超过10 ppm，氧含量不超过5 ppm。此外，本标准还对其他杂质的含量进行了限制，以确保三氟化氮的质量符合要求。

3. 检验方法
为了保证三氟化氮的质量，本标准对其检验方法进行了详细的规定。包括纯度的测定、杂质含量的测定、水分含量的测定、氧含量的测定等。其中，纯度的测定采用气相色谱法，杂质含量的测定采用化学分析法，水分含量的测定采用卡尔费休法，氧含量的测定采用气相色谱法等。

4. 标志、包装、运输、储存
为了方便使用和管理，本标准对三氟化氮的标志、包装、运输、储存等方面进行了规定。其中，标志应包括产品名称、生产厂家、生产日期、批号等信息；包装应符合国家相关标准，运输应注意防止撞击、摩擦、挤压等情况；储存应在干燥、通风、阴凉的地方，避免与氧化剂、酸、碱等物质接触。

相关标准
GB/T 21286-2019 电子特气 氮气
GB/T 21288-2021 电子特气 氩气
GB/T 21289-2021 电子特气 氦气
GB/T 21290-2021 电子特气 氢气
GB/T 21291-2021 电子特气 氧气