俄歇电子能谱仪是一种表面化学分析仪器，广泛应用于材料科学、化学、生物医学等领域。在使用俄歇电子能谱仪进行元素分析时，需要对能量标进行校准，以保证分析结果的准确性和可靠性。

本标准规定了中等分辨俄歇电子能谱仪元素分析用能量标校准的方法和要求。具体内容如下：

1. 校准前的准备工作

在进行能量标校准前，需要进行以下准备工作：

（1）检查仪器的状态，确保仪器正常工作；

（2）准备好能量标和样品；

（3）进行真空泵的抽气，确保真空度符合要求。

2. 能量标的选择和使用

能量标是进行能量校准的关键。在选择能量标时，应考虑以下因素：

（1）能量标的元素种类和浓度；

（2）能量标的稳定性和可靠性；

（3）能量标的价格和可获得性。

在使用能量标时，应注意以下事项：

（1）能量标应与样品相同或相似；

（2）能量标应在同一条件下进行多次测量，以获得平均值；

（3）能量标应在仪器的最大分辨率下进行测量。

3. 能量标校准的方法

能量标校准的方法包括以下步骤：

（1）将能量标放置在仪器的样品台上，并进行真空抽气；

（2）选择能量标的元素峰，进行能量测量；

（3）根据能量标的元素峰位置和已知能量值，计算出能量标的能量刻度系数；

（4）将能量标的能量刻度系数输入到仪器的软件中，完成能量标校准。

4. 校准结果的评价

校准结果的评价应包括以下内容：

（1）能量标的能量刻度系数的相对偏差；

（2）能量标的元素峰位置的相对偏差；

（3）能量标的元素峰强度的相对偏差。

校准结果的相对偏差应符合以下要求：

（1）能量刻度系数的相对偏差不应超过±0.5%；

（2）元素峰位置的相对偏差不应超过±0.1eV；

（3）元素峰强度的相对偏差不应超过±10%。

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