一、范围
本标准规定了金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法。

二、引用标准
GB/T 8170 数字表示法和圆整规则
GB/T 9966.1 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 通用规范
GB/T 9966.2 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层厚度测量方法
GB/T 9966.3 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层质量测量方法
GB/T 9966.4 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层粗糙度测量方法

三、术语和定义
3.1 金覆盖层
金属薄膜、金属涂层等。

3.2 扫描电镜
一种利用电子束扫描样品表面，通过检测样品表面反射、散射、透射等电子信号，获得样品表面形貌、成分、结构等信息的仪器。

3.3 厚度
金覆盖层在垂直于基材表面方向上的长度。

四、测量方法
4.1 样品制备
样品应选取光洁、平整、无明显缺陷的区域进行测量。样品表面应清洁干燥，避免手指接触。

4.2 仪器条件
扫描电镜应具有高分辨率、高灵敏度、高稳定性等特点。电子束加速电压、电流、探针尺寸等参数应根据样品特性进行选择。

4.3 测量步骤
（1）将样品放置在扫描电镜样品台上，调整样品位置和倾斜角度，使得待测区域垂直于电子束方向。
（2）调整扫描电镜参数，获得清晰的待测区域图像。
（3）在待测区域内选择一条垂直于基材表面的直线，测量该直线上金覆盖层的厚度。
（4）重复测量多条直线，取平均值作为该区域金覆盖层厚度的测量结果。

4.4 测量结果的表示
测量结果应按照GB/T 8170的规定进行数字表示和圆整。测量结果应包括测量值和测量误差。

五、报告内容
测量报告应包括以下内容：
（1）样品信息：样品名称、编号、来源等；
（2）测量条件：扫描电镜参数、测量区域、测量次数等；
（3）测量结果：金覆盖层厚度的测量值和测量误差；
（4）备注：样品表面特征、测量结果的可靠性等。

相关标准
GB/T 8170 数字表示法和圆整规则
GB/T 9966.1 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 通用规范
GB/T 9966.2 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层厚度测量方法
GB/T 9966.3 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层质量测量方法
GB/T 9966.4 金属和其他无机覆盖层的电镀和化学镀涂层 镀层粗糙度测量方法