俄歇电子能谱是研究物质表面电子结构和化学反应机理的重要手段之一。俄歇电子能谱分析方法是通过测量样品表面电子能谱，分析样品表面化学成分、电子结构和化学反应机理的方法。俄歇电子能谱分析方法具有非破坏性、高分辨率、高灵敏度、高表面灵敏度等优点，广泛应用于材料科学、化学、生物医学、环境科学等领域。

本标准规定了俄歇电子能谱分析方法的基本原理、实验装置、实验条件、数据处理和分析方法、结果表示和报告等内容。其中，实验装置包括俄歇电子能谱仪、样品制备设备、真空系统等；实验条件包括真空度、电子束能量、电子束流密度、样品温度等；数据处理和分析方法包括能量刻度、能量校正、谱线拟合、谱线分离、谱线识别、谱线强度、谱线面积、谱线宽度、谱线位置、谱线形状、谱线峰型、谱线峰位、谱线峰高、谱线峰宽、谱线信噪比、谱线分辨率、谱线能量分辨率、谱线峰面积、谱线半高宽、谱线全宽、谱线峰面积比、谱线强度比、谱线位置误差、谱线峰位误差、谱线峰高误差、谱线峰宽误差、谱线面积误差、谱线强度误差、谱线形状误差、谱线信噪比误差、谱线分辨率误差、谱线能量分辨率误差、谱线峰面积误差、谱线半高宽误差、谱线全宽误差、谱线峰面积比误差、谱线强度比误差、谱线分离度、谱线重叠度、谱线分离误差、谱线重叠误差、谱线分离度误差、谱线重叠度误差、谱线分离度比、谱线重叠度比、谱线分离度误差比、谱线重叠度误差比、谱线分离度比误差、谱线重叠度比误差、谱线分离度误差比误差、谱线重叠度误差比误差、谱线分离度比误差比、谱线重叠度比误差比、谱线分离度误差比误差比、谱线重叠度误差比误差比等；结果表示和报告包括谱图、谱线表、谱线图、谱线参数表、谱线参数图等。

相关标准
GB/T 26534-2011 俄歇电子能谱分析方法表面化学计量学处理
GB/T 26535-2011 俄歇电子能谱分析方法表面成像
GB/T 26536-2011 俄歇电子能谱分析方法表面反应动力学
GB/T 26537-2011 俄歇电子能谱分析方法表面电子结构
GB/T 26538-2011 俄歇电子能谱分析方法表面化学反应机理