GB/T 26827-2011
波片相位延迟测量装置的校准方法
发布时间:2011-07-29 实施时间:2011-12-01


波片相位延迟测量装置是一种用于测量光学元件相位延迟的仪器。在光学元件的设计、制造和应用过程中,需要对波片相位延迟测量装置进行校准,以保证测量结果的准确性和可靠性。本标准旨在规定波片相位延迟测量装置的校准方法,以提高测量结果的准确性和可靠性。

1. 校准装置的选择
校准装置应具有稳定的光学性能和精确的相位延迟值。校准装置的选择应根据波片相位延迟测量装置的测量范围和精度要求进行选择。常用的校准装置有:全息干涉仪、自动相位调制干涉仪、相位测量干涉仪等。

2. 校准方法
校准方法应根据波片相位延迟测量装置的工作原理和测量范围进行选择。常用的校准方法有:相位比较法、相位移动法、相位旋转法等。校准方法应具有可重复性和准确性,并应在校准记录中详细描述。

3. 校准结果的评定
校准结果应根据波片相位延迟测量装置的测量范围和精度要求进行评定。校准结果应包括校准装置的相位延迟值、波片相位延迟测量装置的测量误差等信息。校准结果应在校准记录中详细描述,并应进行审核和批准。

本标准适用于波片相位延迟测量装置的校准,可用于光学元件的设计、制造和应用过程中的质量控制和技术评估。

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