GB/T 27788-2020
微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则
发布时间:2020-06-02 实施时间:2021-04-01
扫描电镜是一种常用的微观分析仪器,其图像放大倍率的准确性对于微观分析结果的准确性至关重要。因此,本标准制定了图像放大倍率校准的导则,以确保SEM图像放大倍率的准确性。
本标准规定了图像放大倍率校准的方法和要求,包括校准前的准备工作、校准过程中的操作步骤、校准后的检验和记录等内容。其中,校准前的准备工作包括SEM的准备、校准样品的制备和选择、校准仪器的准备等;校准过程中的操作步骤包括校准样品的放置、图像采集和处理、数据分析等;校准后的检验和记录包括校准结果的评估、校准数据的记录和保存等。
本标准适用于SEM图像放大倍率的校准,可用于各种类型的SEM仪器,包括传统SEM、场发射SEM、透射SEM等。校准样品的选择应根据SEM仪器的特点和需要进行选择,常用的校准样品包括金属线栅、光栅、微球等。
本标准的实施可以提高SEM图像放大倍率的准确性,保证微观分析结果的可靠性和准确性,对于SEM的应用和发展具有重要意义。
相关标准
- GB/T 6900-2006 扫描电镜技术条件
- GB/T 6901-2006 扫描电镜术语
- GB/T 6902-2006 扫描电镜操作规程
- GB/T 6903-2006 扫描电镜图像质量评价方法
- GB/T 6904-2006 扫描电镜图像处理方法