GB/T 37959-2019
含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
发布时间:2019-08-30 实施时间:2020-03-01
随着集成电路技术的不断发展,含工艺腔室类集成电路装备在集成电路制造过程中扮演着越来越重要的角色。然而,由于不同厂商的装备设计和制造标准不同,导致装备之间的信息交换和数据共享困难,影响了装备的设计和制造效率,增加了成本,降低了产品质量。为了解决这一问题,GB/T 37959-2019 标准应运而生。
该标准规定了含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型的基本要求、数据结构、数据内容、数据交换和数据共享等方面的内容。其中,基本要求包括了模型的定义、范围、目的、应用和术语等;数据结构包括了模型的组成、层次结构和关系等;数据内容包括了模型的属性、特征和参数等;数据交换包括了模型的格式、传输方式和接口等;数据共享包括了模型的管理、维护和更新等。
通过该标准,不同厂商的含工艺腔室类集成电路装备可以采用相同的设计信息模型,实现信息交换和数据共享,提高装备的设计和制造效率,降低成本,提高产品质量。同时,该标准还可以促进国内含工艺腔室类集成电路装备制造业的发展,提高国内装备制造业的竞争力。
需要注意的是,该标准并不是强制性标准,而是推荐性标准。因此,厂商可以根据自身情况选择是否采用该标准。但是,采用该标准可以带来诸多好处,因此建议厂商尽可能采用该标准。
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