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圆形石英玻璃光掩模基板是一种用于微电子制造中的重要材料，其质量直接影响到微电子产品的性能和可靠性。为了保证圆形石英玻璃光掩模基板的质量，GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范被制定出来。

该标准对圆形石英玻璃光掩模基板的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存进行了详细的规定。其中，圆形石英玻璃光掩模基板的分类包括按照形状、尺寸、表面质量等方面进行分类。要求方面包括了物理性能、化学性能、光学性能、表面质量等方面的要求。试验方法包括了物理性能、化学性能、光学性能、表面质量等方面的试验方法。检验规则包括了外观检验、尺寸检验、表面质量检验、物理性能检验、化学性能检验、光学性能检验等方面的检验规则。标志方面规定了圆形石英玻璃光掩模基板的标志内容和位置。包装方面规定了圆形石英玻璃光掩模基板的包装方式和包装标志。运输和贮存方面规定了圆形石英玻璃光掩模基板的运输和贮存条件。

通过GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范的制定和实施，可以保证圆形石英玻璃光掩模基板的质量，提高微电子产品的性能和可靠性，促进微电子产业的发展。

相关标准：
GB/T 16524-1996 圆形石英玻璃光掩模基板尺寸公差
GB/T 16525-1996 圆形石英玻璃光掩模基板表面质量
GB/T 16526-1996 圆形石英玻璃光掩模基板物理性能试验方法
GB/T 16527-1996 圆形石英玻璃光掩模基板化学性能试验方法
GB/T 16528-1996 圆形石英玻璃光掩模基板光学性能试验方法