掩模缺陷检查系统是一种用于检测材料表面缺陷的非破坏性检测方法。为了保证掩模缺陷检查系统的检测灵敏度，需要对其进行灵敏度分析。而灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法则是保证灵敏度分析准确性的关键。

GB/T 17866-1999规定了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法的技术要求。其中，特制缺陷掩模应具有一定的尺寸、形状和深度，以模拟实际缺陷的形态和大小。评估测量方法则应能够准确地测量缺陷的尺寸和深度，并能够对不同类型的缺陷进行区分。

此外，GB/T 17866-1999还规定了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法的试验方法。试验方法包括特制缺陷掩模的制备、评估测量方法的选择和实施、数据处理和分析等内容。在试验过程中，应注意控制试验条件，确保试验结果的可靠性和准确性。

GB/T 17866-1999还规定了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法的评定规则。评定规则包括特制缺陷掩模的评定和评估测量方法的评定。特制缺陷掩模的评定应根据其尺寸、形状和深度等指标进行，评估测量方法的评定则应根据其测量精度、可重复性和准确性等指标进行。

最后，GB/T 17866-1999还规定了掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法的报告要求。报告应包括试验目的、试验方法、试验结果和结论等内容，以便于对试验结果进行分析和评价。

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