半导体器件制造过程中，关键尺寸的测量是非常重要的。关键尺寸是指对器件性能影响最大的尺寸，如晶体管的栅长、源漏距离等。因此，准确地测量关键尺寸对于保证器件性能和质量至关重要。

GB/T 17864-1999《关键尺寸(CD)计量方法》规定了关键尺寸的计量方法，主要包括以下内容：

1.测量设备的要求：测量设备应具有足够的分辨率和精度，能够满足关键尺寸的测量要求。

2.测量方法的要求：测量方法应能够准确地测量关键尺寸，并且应该考虑到测量误差的影响。

3.测量数据的处理：测量数据应该进行统计分析，以确定关键尺寸的平均值和标准偏差。

4.测量结果的报告：测量结果应该以适当的方式进行报告，以便于数据的分析和比较。

该标准的实施可以保证关键尺寸的测量准确性和可靠性，有助于提高半导体器件的制造质量和性能。

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