微机电系统（MEMS）技术是一种集微电子技术、机械制造技术、光学技术、材料科学等多学科于一体的新兴技术，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快、可靠性高等优点，广泛应用于传感器、执行器、微流控芯片、生物芯片、光学器件等领域。为了规范MEMS技术领域中的术语使用，GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语标准对MEMS技术中常用的术语进行了定义和解释，包括以下内容：

1. 微机电系统（MEMS）：指由微米级或亚微米级的机械、电子、光学和化学元件组成的系统，具有微型化、集成化、智能化等特点。

2. 传感器：指将被测量的物理量转换为电信号输出的装置，包括压力传感器、温度传感器、加速度传感器、光学传感器等。

3. 执行器：指将电信号转换为机械运动的装置，包括微型电机、微型阀门、微型泵等。

4. 微流控芯片：指在微米级通道中进行流体控制和分析的芯片，广泛应用于生物医学、环境监测、食品安全等领域。

5. 生物芯片：指将生物分子（如DNA、蛋白质等）固定在芯片表面，通过光学、电化学等方法进行检测和分析的芯片。

6. 光学器件：指利用光学原理进行信号处理和传输的器件，包括光电二极管、激光器、光纤等。

此外，GB/T 26111-2010 微机电系统（MEMS）技术 术语标准还对MEMS技术中常用的缩写、符号、单位等进行了规定和解释，为MEMS技术的研究、开发、生产和应用提供了统一的术语标准，有利于MEMS技术的发展和应用。

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