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微机电系统（MEMS）技术是一种集成了微电子技术、微机械技术和传感器技术的新型技术，其应用范围广泛，包括汽车、医疗、航空航天、通信等领域。微机电系统中的微几何量是指微机械结构中的微小尺寸、形状和位置等参数，这些参数对于微机械结构的性能和可靠性具有重要影响。因此，对微几何量进行准确的评定是保证微机电系统性能和可靠性的重要保障。

本标准主要包括以下内容：

1.微几何量的定义：对微几何量的定义进行了详细说明，包括微小尺寸、形状和位置等参数。

2.测量方法：对微几何量的测量方法进行了详细说明，包括光学测量、扫描探针显微镜测量、原子力显微镜测量等方法。

3.评定方法：对微几何量的评定方法进行了详细说明，包括形状误差、位置误差、尺寸误差等评定方法。

4.不确定度评定：对微几何量的不确定度评定进行了详细说明，包括不确定度来源、不确定度计算方法等内容。

5.报告：对微几何量评定结果的报告进行了详细说明，包括报告内容、格式等要求。

本标准适用于微机电系统中微几何量的评定，可用于微机电系统的设计、制造、测试和质量控制等方面。

相关标准：
GB/T 26114-2010 微机电系统（MEMS）技术 表面形貌测量方法
GB/T 26115-2010 微机电系统（MEMS）技术 表面粗糙度评定方法
GB/T 26116-2010 微机电系统（MEMS）技术 表面平整度评定方法
GB/T 26117-2010 微机电系统（MEMS）技术 表面平行度评定方法
GB/T 26118-2010 微机电系统（MEMS）技术 表面垂直度评定方法