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微机电系统（MEMS）技术是一种集成了微机械、电子、光学、热学等多种技术的交叉学科，其应用范围广泛，包括传感器、执行器、微流控芯片、生物芯片等。微机械量评定是MEMS技术中的一个重要环节，对于保证MEMS器件的可靠性、精度和稳定性具有重要意义。

本标准对微机械量的定义、分类、测量方法、评定方法、不确定度评定、报告等内容进行了规定。其中，微机械量的定义包括了长度、角度、形状、表面形貌、力学性能等方面的参数；微机械量的分类包括了形状参数、表面形貌参数、力学性能参数等方面的分类；微机械量的测量方法包括了光学测量、扫描电子显微镜测量、原子力显微镜测量、机械测量等多种方法；微机械量的评定方法包括了直接比较法、间接比较法、标准样品法等多种方法；微机械量的不确定度评定包括了类型A不确定度和类型B不确定度的评定；微机械量的报告包括了测量结果、不确定度、测量条件等内容。

本标准的实施可以提高MEMS器件的可靠性、精度和稳定性，促进MEMS技术的发展和应用。

相关标准：
GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量的测量方法
GB/T 26114-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量的评定方法
GB/T 26115-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量的不确定度评定
GB/T 26116-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量的报告
GB/T 26117-2010 微机电系统（MEMS）技术 微机械量的术语