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GB/T 29056-2012 标准是针对硅外延用三氯氢硅化学分析方法中,电感耦合等离子体质谱法测定硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的要求和方法进行规定的。该标准适用于硅外延用三氯氢硅化学分析方法中,电感耦合等离子体质谱法测定硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定。
该标准要求在实验室内进行,实验室应具备电感耦合等离子体质谱仪等必要的设备和条件。在进行实验前,应对设备进行校准和检查,确保设备的准确性和稳定性。实验过程中,应按照标准规定的方法进行样品的制备、分析和计算,确保实验结果的准确性和可靠性。
该标准的实验方法主要包括样品的制备、电感耦合等离子体质谱仪的操作和数据处理等步骤。在样品制备过程中,应注意样品的选择、处理和保存等问题,确保样品的质量和稳定性。在电感耦合等离子体质谱仪的操作过程中,应注意仪器的使用和维护,确保仪器的准确性和稳定性。在数据处理过程中,应注意数据的处理和分析,确保数据的准确性和可靠性。
该标准的实验结果应按照标准规定的方法进行计算和报告,报告中应包括实验方法、实验结果和实验结论等内容。实验结果应具有可重复性和可比性,实验结论应具有科学性和可靠性。
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