GB/T 30118-2013
声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法
发布时间:2013-12-17 实施时间:2014-05-15
声表面波(SAW)器件是一种利用表面声波传播的原理来实现信号传输和处理的器件。SAW器件的性能取决于其制造过程中所使用的单晶晶片的质量。因此,为了保证SAW器件的性能和可靠性,需要对单晶晶片进行规范和测量。
本标准主要包括以下内容:
1. 单晶晶片的尺寸和形状要求:规定了单晶晶片的尺寸和形状要求,包括晶片的直径、厚度、平整度等。
2. 单晶晶片的物理性质要求:规定了单晶晶片的物理性质要求,包括晶片的晶体结构、晶格常数、密度、硬度等。
3. 单晶晶片的表面质量要求:规定了单晶晶片的表面质量要求,包括表面平整度、表面光洁度、表面无裂纹、无气泡等。
4. 单晶晶片的电学性能要求:规定了单晶晶片的电学性能要求,包括电阻率、介电常数、压电常数等。
5. 单晶晶片的测量方法:介绍了单晶晶片的测量方法,包括晶片尺寸和形状的测量、物理性质的测量、表面质量的测量、电学性能的测量等。
本标准的实施可以保证SAW器件的性能和可靠性,提高SAW器件的制造质量和市场竞争力。
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