GB/T 11446.5-2013
电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
发布时间:2013-12-31 实施时间:2014-08-15


电子级水是指用于半导体、集成电路、光电子器件等电子元器件制造的高纯水。在电子元器件制造过程中,电子级水的纯度要求非常高,其中痕量金属的含量必须控制在极低的水平。因此,对电子级水中痕量金属的检测方法要求非常严格。

GB/T 11446.5-2013标准规定了电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法。该方法采用原子吸收分光光度法,通过测定电子级水中痕量金属的吸收光谱,来确定其含量。该方法适用于电子级水中痕量金属的检测,具有灵敏度高、准确度高、重现性好等优点。

该标准规定了电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试的具体步骤和要求。其中包括样品的制备、仪器的校准、测试条件的设定、测试结果的计算等内容。在样品制备方面,要求使用高纯水和高纯试剂,避免样品受到污染。在仪器校准方面,要求使用标准物质进行校准,确保测试结果的准确性。在测试条件的设定方面,要求控制好各项参数,如气体流量、灯丝电流、灯丝寿命等,以保证测试结果的重现性。在测试结果的计算方面,要求按照标准公式进行计算,得出测试结果。

该标准的实施,可以保证电子级水中痕量金属的检测结果准确可靠,有助于保证电子元器件的质量和稳定性。

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