GB/T 11446.9-2013
电子级水中微粒的仪器测试方法
发布时间:2013-12-31 实施时间:2014-08-15
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电子级水是指用于半导体、集成电路、光电子器件等电子元器件制造的纯水。电子级水中微粒的含量对电子元器件的制造和性能有着重要的影响。因此,对电子级水中微粒的检测和控制是电子元器件制造过程中的重要环节。
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测试方法。测试方法包括样品制备、仪器操作、数据处理等内容。具体步骤如下:
1. 样品制备
样品制备应按照实际情况进行。样品应在规定时间内进行测试,避免样品的质量变化。
2. 仪器操作
仪器操作应按照仪器说明书进行。在测试过程中,应注意仪器的稳定性和准确性。
3. 数据处理
数据处理应按照仪器说明书进行。在数据处理过程中,应注意数据的准确性和可靠性。
本标准的实施可以有效地保证电子级水中微粒的检测和控制,提高电子元器件的制造质量和性能。
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