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微机电系统（MEMS）技术是一种集成了微电子技术、微机械技术和光学技术的新型技术，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点，被广泛应用于传感器、执行器、微流控芯片等领域。MEMS微结构的应变梯度测量是MEMS技术中的一个重要问题，对于MEMS器件的设计、制造和性能评价具有重要意义。

GB/T 34894-2017标准规定了基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法的技术要求、测量原理、测量装置、测量程序、测量不确定度评定和测量报告等内容。该标准适用于MEMS微结构的应变梯度测量，包括但不限于MEMS传感器、执行器、微流控芯片等。

该标准要求测量装置应具有高分辨率、高灵敏度、高稳定性和高可重复性等特点，测量程序应包括样品准备、测量参数设置、数据采集和数据处理等步骤。测量不确定度评定应考虑测量装置、测量程序、环境条件等因素的影响，并采用适当的方法进行评定。测量报告应包括测量结果、测量不确定度、测量条件等信息。

该标准的实施可以提高MEMS微结构应变梯度测量的准确性和可靠性，促进MEMS技术的发展和应用。

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