微机电系统（MEMS）技术是一种集成了机械、电子、光学、热学等多种技术的新型技术，具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点，被广泛应用于传感器、执行器、微型机械系统等领域。MEMS谐振敏感元件是MEMS技术中的一种重要元件，其具有高灵敏度、高精度、高稳定性等特点，被广泛应用于惯性导航、生物传感、气体检测等领域。

MEMS谐振敏感元件的性能与其谐振频率、谐振幅度、谐振品质因数等参数密切相关，因此需要对这些参数进行精确的测试。同时，由于MEMS谐振敏感元件的非线性振动特性，也需要对其进行非线性振动测试。

本标准规定了MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法，包括谐振频率、谐振幅度、谐振品质因数、非线性振动等参数的测试方法。具体内容如下：

1. 谐振频率测试方法：采用扫频法进行测试，通过测量谐振曲线的峰值位置确定谐振频率。

2. 谐振幅度测试方法：采用扫频法进行测试，通过测量谐振曲线的峰值幅度确定谐振幅度。

3. 谐振品质因数测试方法：采用扫频法进行测试，通过测量谐振曲线的半峰宽和谐振频率确定谐振品质因数。

4. 非线性振动测试方法：采用周期双曲正弦信号进行激励，通过测量谐振曲线的非线性失真程度确定非线性振动特性。

本标准适用于MEMS谐振敏感元件的测试，可为MEMS谐振敏感元件的研发、生产和应用提供参考。

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