氮化镓激光剥离设备是一种用于制备氮化镓薄膜的设备，其主要原理是利用激光将氮化镓薄膜从衬底上剥离下来。为了保证氮化镓薄膜的质量和设备的稳定性，需要制定相应的标准。

本标准适用于氮化镓激光剥离设备的设计、制造、检验和使用。其中，术语和定义部分规定了本标准中所使用的术语和定义，以便于标准的理解和适用。技术要求部分规定了氮化镓激光剥离设备的主要技术指标，包括设备的结构、激光器的参数、剥离过程的控制等。检验方法部分规定了氮化镓激光剥离设备的检验方法，包括设备的外观检查、性能测试、安全检查等。标志、包装、运输和贮存部分规定了氮化镓激光剥离设备的标志、包装、运输和贮存要求。

本标准的实施可以提高氮化镓激光剥离设备的质量和稳定性，促进氮化镓薄膜的制备和应用。

相关标准
- GB/T 37467-2019 氮化镓薄膜的制备和表征
- GB/T 37468-2019 氮化镓晶体的生长和制备
- GB/T 37469-2019 氮化镓半导体器件的制备和测试
- GB/T 37470-2019 氮化镓材料的表征方法
- GB/T 37471-2019 氮化镓晶体的缺陷检测方法