GB/T 38446-2020
微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
发布时间:2020-03-06 实施时间:2020-10-01
微机电系统(MEMS)技术是一种集成电路、微机械和传感器等技术的综合应用,具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点。带状薄膜是MEMS中常用的一种结构,其抗拉性能是评价其质量的重要指标之一。
本标准适用于带状薄膜的抗拉性能试验,包括薄膜的拉伸强度、断裂伸长率、弹性模量等指标的测定。试验方法包括样品制备、试验设备、试验步骤、数据处理等内容。
样品制备:样品应按照设计要求制备,尺寸应符合标准要求。样品的制备应注意避免损伤和污染,以保证试验结果的准确性。
试验设备:试验设备应符合标准要求,包括拉伸试验机、夹具、测量仪器等。试验设备的选用应根据样品的尺寸、材料等因素进行合理选择。
试验步骤:试验步骤包括样品的夹持、加载、数据采集等过程。试验过程中应注意保持试验环境的稳定,避免外界因素对试验结果的影响。
数据处理:试验数据应进行有效处理,包括数据的采集、计算、分析等过程。试验结果应进行统计分析,得出可靠的结论。
本标准的实施有助于提高带状薄膜的质量和可靠性,促进MEMS技术的发展和应用。
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