GB/T 41852-2022
半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法
发布时间:2022-10-12 实施时间:2022-10-12


微机电器件(MEMS)是一种集成了微型机械、电子、光学和生物技术的微型系统,具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点,广泛应用于传感器、执行器、生物医学、通信等领域。MEMS器件的可靠性是其应用的关键,而黏结强度是MEMS器件可靠性的重要指标之一。

本标准规定了MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法。弯曲试验是指在MEMS结构的黏结界面上施加弯曲载荷,测量黏结界面的弯曲应力和弯曲应变,从而计算出黏结强度。剪切试验是指在MEMS结构的黏结界面上施加剪切载荷,测量黏结界面的剪切应力和剪切应变,从而计算出黏结强度。

本标准详细描述了弯曲试验和剪切试验的试验装置、试验步骤、试验参数、数据处理等内容。其中,弯曲试验包括单点弯曲试验和双点弯曲试验两种方法,剪切试验包括直剪试验和斜剪试验两种方法。试验时应注意安全,避免损坏试验设备和样品。

本标准的实施有助于提高MEMS器件的可靠性,促进MEMS技术的发展和应用。

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