GB/T 11093-2007
液封直拉法砷化镓单晶及切割片
发布时间:2007-09-11 实施时间:2008-02-01
砷化镓单晶是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子、微电子、光通信、高速电子等领域。液封直拉法是一种常用的砷化镓单晶生长方法,本标准规定了该方法的生长过程中的各项要求。
1.生长设备
液封直拉法生长设备主要由炉体、熔体、拉晶机构、气氛保护系统、温度控制系统等组成。炉体应具有良好的隔热性能和稳定的温度控制能力,熔体应具有良好的纯度和稳定的成分,拉晶机构应具有良好的拉晶控制能力和稳定的拉晶速度。
2.生长工艺
液封直拉法生长工艺主要包括熔体制备、晶体生长、晶体切割等过程。熔体制备应注意熔体成分的准确控制和熔体的纯度,晶体生长应注意晶体生长速度、晶体形态、晶体质量等因素的控制,晶体切割应注意切割方向、切割角度、切割精度等因素的控制。
3.生长控制
液封直拉法生长过程中应注意熔体温度、拉晶速度、气氛保护等因素的控制,以保证晶体生长的稳定性和质量。
4.生长质量检验
液封直拉法生长的砷化镓单晶应进行外观检验、晶体结构检验、电学性能检验等多项检验,以保证晶体的质量。
5.其它要求
液封直拉法生长的砷化镓单晶应注意环保要求,避免对环境造成污染。
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