硅中代位碳原子含量是指硅中代替硅原子的碳原子的含量。硅中代位碳原子含量的测定是硅材料中杂质含量分析的重要方法之一。本标准规定了硅中代位碳原子含量的红外吸收测量方法。

本标准的主要内容包括：样品的制备、红外吸收光谱仪的选择和校准、测量条件的选择和校准、测量结果的计算和报告等。

样品的制备：样品应当是粉末状或薄片状，且表面应当平整、干净、无氧化物和油脂等污染物。样品的制备应当避免使用含有碳元素的工具和容器。

红外吸收光谱仪的选择和校准：应当选择具有高分辨率、高灵敏度和稳定性的红外吸收光谱仪，并进行校准。校准应当包括仪器零点、波数刻度和光程校准等。

测量条件的选择和校准：应当选择适当的光谱区域和光程，以获得清晰的吸收峰。测量条件的校准应当包括光谱仪的分辨率、光源强度和样品的温度等。

测量结果的计算和报告：应当根据吸收峰的强度和波数计算硅中代位碳原子含量，并报告测量结果的准确度和精密度等指标。

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