一、范围
本标准适用于高分辨率X射线衍射测量GaAs衬底生长的AlGaAs中Al成分的试验方法。

二、引用标准
GB/T 6394-2002 金属材料拉伸试验方法
GB/T 8170-2008 数字表示法和圆整规则
GB/T 12525-2005 金属材料室温单轴应力应变试验方法
GB/T 20066-2006 金属材料高温拉伸试验方法
GB/T 20123-2006 金属材料室温压缩试验方法

三、术语和定义
3.1 AlGaAs
AlxGa1-xAs，其中0≤x≤1。

3.2 AlAs
铝砷化物，化学式为AlAs。

3.3 GaAs
砷化镓，化学式为GaAs。

3.4 衬底
在晶体生长过程中，作为晶体生长的基底的材料。

3.5 Al成分
AlGaAs中Al元素的含量。

四、试验方法
4.1 样品制备
样品应制备成薄膜或晶体形式，表面应平整光滑，无明显缺陷。

4.2 试验仪器
使用高分辨率X射线衍射仪进行试验。

4.3 试验条件
试验温度为室温，X射线管电压为40kV，电流为40mA，扫描速度为0.02°/s。

4.4 试验步骤
（1）将样品放置在高分辨率X射线衍射仪的样品台上。
（2）调整试验仪器，使其符合试验条件。
（3）开始试验，记录X射线衍射图谱。
（4）根据X射线衍射图谱，计算Al成分。

4.5 数据处理
根据试验结果，计算Al成分的含量。

五、试验报告
试验报告应包括以下内容：
（1）试验日期和地点；
（2）试验人员姓名；
（3）试验样品的标识；
（4）试验仪器的型号和编号；
（5）试验条件；
（6）试验结果；
（7）试验结论。

相关标准
GB/T 6394-2002 金属材料拉伸试验方法
GB/T 8170-2008 数字表示法和圆整规则
GB/T 12525-2005 金属材料室温单轴应力应变试验方法
GB/T 20066-2006 金属材料高温拉伸试验方法
GB/T 20123-2006 金属材料室温压缩试验方法