GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
发布时间:2009-10-30 实施时间:2010-06-01
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法是一种用于检测硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的方法。Ⅲ-Ⅴ族杂质是指硅单晶中掺杂有三价元素和五价元素的杂质,如砷、磷、铝、镓等。这些杂质的存在会影响硅单晶的电学性能和光学性能,因此需要对其进行检测。
本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。该方法利用光致发光现象,通过测量样品在激发光照射下的发光强度和发光光谱,来判断样品中Ⅲ-Ⅴ族杂质的存在和浓度。
测试前需要对样品进行处理,包括去除表面污染和氧化层等。测试时需要使用特定的激发光源和光谱仪,并对测试条件进行严格控制。测试结果需要进行数据处理和分析,得出样品中Ⅲ-Ⅴ族杂质的浓度和类型。
本标准的实施可以有效地检测硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的存在和浓度,为硅单晶的制备和应用提供了重要的技术支持。
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