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硅单晶抛光试验片是用于检测硅单晶抛光机的试验片，其质量的好坏直接影响到硅单晶抛光机的抛光效果。为了保证硅单晶抛光试验片的质量，GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范被制定出来。

该标准规定了硅单晶抛光试验片的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等内容。其中，技术要求包括试验片的材质、尺寸、表面质量、平整度、抛光效果等；试验方法包括试验片的制备、抛光、检测等；检验规则和标志包括试验片的检验方法、检验结果的判定、标志的要求等；包装、运输、贮存包括试验片的包装方式、运输方式、贮存条件等。

在使用硅单晶抛光试验片时，应按照该标准的要求进行操作，以保证试验结果的准确性和可靠性。同时，对于生产硅单晶抛光试验片的厂家，也应按照该标准的要求进行生产，以保证试验片的质量。

相关标准：
GB/T 26066-2010 硅单晶抛光试验片检测方法
GB/T 26067-2010 硅单晶抛光试验片检验规则和标志、包装、运输、贮存
GB/T 26068-2010 硅单晶抛光试验片的尺寸公差
GB/T 26069-2010 硅单晶抛光试验片的表面质量
GB/T 26070-2010 硅单晶抛光试验片的平整度