GB/T 30453-2013
硅材料原生缺陷图谱
发布时间:2013-12-31 实施时间:2014-10-01
硅材料是一种重要的半导体材料,广泛应用于电子、光电、太阳能等领域。硅材料的质量对于器件的性能和寿命有着重要的影响。硅材料中存在着各种原生缺陷,如晶格缺陷、氧杂质、金属杂质等,这些缺陷会影响硅材料的电学、光学、力学等性能。因此,对硅材料的原生缺陷进行分类、命名、描述和图谱是硅材料质量控制的重要内容。
GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱规定了硅材料原生缺陷的分类、命名、描述和图谱。其中,硅材料原生缺陷分为点缺陷、线缺陷和面缺陷三类。点缺陷包括晶格缺陷、氧杂质、金属杂质等;线缺陷包括位错、螺旋线、晶界等;面缺陷包括晶面缺陷、晶粒边界等。每种原生缺陷都有相应的命名和描述,并配有图谱,方便用户进行识别和判定。
硅材料原生缺陷图谱的应用可以提高硅材料的质量控制水平。通过对硅材料原生缺陷的分类、命名、描述和图谱的应用,可以准确地识别和判定硅材料中的缺陷类型和数量,为硅材料的质量控制提供了依据。同时,硅材料原生缺陷图谱也为硅材料的研究提供了基础和参考。
相关标准
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GB/T 30455-2013 硅材料中金属杂质的测定
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