蓝宝石单晶衬底抛光片是一种用于半导体器件制造的重要材料，其表面质量、尺寸精度、物理性能和化学性能对器件的性能和可靠性有着重要影响。为了保证蓝宝石单晶衬底抛光片的质量，制定了GB/T 30858-2014标准。

该标准将蓝宝石单晶衬底抛光片分为两类：N型和S型。其中，N型蓝宝石单晶衬底抛光片适用于制造LED器件，S型蓝宝石单晶衬底抛光片适用于制造功率器件和射频器件。

标准对蓝宝石单晶衬底抛光片的要求包括表面质量、尺寸精度、物理性能和化学性能。其中，表面质量要求无裂纹、无划痕、无气泡、无污染物等缺陷；尺寸精度要求符合规定的公差范围；物理性能要求符合规定的要求，如硬度、密度、热膨胀系数等；化学性能要求符合规定的要求，如化学成分、电导率等。

标准还规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的试验方法，包括外观检查、尺寸测量、硬度测量、密度测量、热膨胀系数测量、化学成分分析、电导率测量等。同时，标准还规定了检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的要求。

相关标准
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