掺硼、掺磷、掺砷硅单晶是半导体材料中常用的掺杂剂，其电阻率与掺杂剂浓度之间的关系是半导体材料研究中的重要参数。本标准规定了掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算关系，为半导体材料研究提供了便利。

本标准适用于掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算。

本标准规定了掺硼、掺磷、掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算公式，具体如下：

1.掺硼硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算公式

ρ = A / (N_B - N₀)^α

其中，ρ为掺硼硅单晶电阻率，单位为Ω·cm；A、α为常数，其值分别为1.45×10⁴和0.87；N_B为掺杂剂浓度，单位为cm^-3；N₀为硅单晶本征载流子浓度，单位为cm^-3。

2.掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算公式

ρ = B / (N_P - N₀)^β

其中，ρ为掺磷硅单晶电阻率，单位为Ω·cm；B、β为常数，其值分别为1.08×10⁴和0.87；N_P为掺杂剂浓度，单位为cm^-3；N₀为硅单晶本征载流子浓度，单位为cm^-3。

3.掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度之间的换算公式

ρ = C / (N_As - N₀)^γ

其中，ρ为掺砷硅单晶电阻率，单位为Ω·cm；C、γ为常数，其值分别为1.05×10⁴和0.87；N_As为掺杂剂浓度，单位为cm^-3；N₀为硅单晶本征载流子浓度，单位为cm^-3。

本标准中的常数值是经过实验测定得出的，具有一定的参考价值。但是，由于实验条件的不同，不同实验室得出的常数值可能会有所不同。因此，在具体应用中，应根据实际情况进行修正。

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