硅外延是一种制备半导体器件的重要工艺，而三氯氢硅则是硅外延中的重要原料。GB/T 30652-2014标准规定了硅外延用三氯氢硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输、贮存和安全性要求，以确保其质量和安全性。

该标准规定了硅外延用三氯氢硅的外观、纯度、杂质含量、水分含量、酸度、密度、沸点、蒸汽压等技术要求。其中，纯度要求不低于99.999%，杂质含量要求低于1ppm，水分含量要求低于10ppm，酸度要求低于0.01%。此外，还规定了三氯氢硅的包装、标志、运输和贮存要求，以确保其在运输和贮存过程中不受污染和损坏。

为了确保三氯氢硅的安全性，该标准还规定了其安全性要求。三氯氢硅是一种有毒化学品，具有刺激性和腐蚀性，因此在生产、运输和使用过程中需要采取相应的安全措施。该标准规定了三氯氢硅的毒性、刺激性、腐蚀性、燃烧性等安全性指标，并规定了其安全操作要求、应急处理措施和废弃物处理要求。

总之，GB/T 30652-2014标准对硅外延用三氯氢硅的质量和安全性进行了全面规定，对于保障硅外延制备的质量和安全具有重要意义。

相关标准
- GB/T 26527-2011 化学品包装标志
- GB/T 26528-2011 化学品包装运输标志
- GB/T 26529-2011 化学品包装运输标签
- GB/T 26530-2011 化学品包装运输文件
- GB/T 26531-2011 化学品包装运输文件