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硅单晶抛光片是一种用于半导体制造的重要材料，其质量直接影响到半导体器件的性能和可靠性。为了保证硅单晶抛光片的质量，GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片标准被制定出来。

该标准首先对硅单晶抛光片进行了分类，分为机械抛光片和化学机械抛光片两种。然后对硅单晶抛光片的要求进行了详细的规定，包括外观、尺寸、表面质量、化学成分、杂质含量、电阻率、硬度等方面。其中，表面质量是硅单晶抛光片的重要指标之一，本标准对表面质量的要求进行了详细的描述，包括表面平整度、表面光洁度、表面缺陷等方面。

为了保证硅单晶抛光片的质量，本标准还规定了硅单晶抛光片的试验方法，包括外观检查、尺寸测量、表面质量检验、化学成分分析、杂质含量测定、电阻率测量、硬度测量等方面。同时，本标准还规定了硅单晶抛光片的检验规则，包括抽样方法、检验项目、判定原则等方面。

为了方便用户识别和使用，本标准还规定了硅单晶抛光片的标志、包装、运输和贮存要求。其中，标志包括产品名称、规格型号、生产厂家、生产日期等信息；包装要求包括包装材料、包装方式、包装数量等方面；运输要求包括运输方式、运输条件等方面；贮存要求包括贮存条件、贮存期限等方面。

总之，GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片标准是硅单晶抛光片生产和使用的重要依据，它规定了硅单晶抛光片的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的内容，为保证硅单晶抛光片的质量提供了有力的保障。

相关标准：
GB/T 19532-2017 半导体硅单晶生长用硅粉
GB/T 19533-2017 半导体硅单晶生长用硅棒
GB/T 19534-2017 半导体硅单晶生长用硅片
GB/T 19535-2017 半导体硅单晶生长用硅锭
GB/T 19536-2017 半导体硅单晶生长用硅片切割片