氮化镓外延片和衬底片是半导体材料中的重要组成部分，广泛应用于LED、激光器、功率器件等领域。为了保证氮化镓外延片和衬底片的质量和稳定性，需要制定相应的规范。GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范就是为此而制定的。

该标准主要包括以下内容：

1.物理性能：包括氮化镓外延片和衬底片的晶体结构、晶格常数、晶面取向、载流子浓度、电阻率等物理性能的要求和测试方法。

2.化学性能：包括氮化镓外延片和衬底片的化学成分、杂质含量、表面氧化等化学性能的要求和测试方法。

3.尺寸和形状：包括氮化镓外延片和衬底片的尺寸、形状、厚度等要求和测试方法。

4.表面质量：包括氮化镓外延片和衬底片的表面平整度、表面缺陷、表面污染等表面质量的要求和测试方法。

5.包装和标识：包括氮化镓外延片和衬底片的包装方式、标识要求等内容。

该标准的实施可以保证氮化镓外延片和衬底片的质量和稳定性，有利于提高半导体器件的性能和可靠性，促进半导体产业的发展。

相关标准
GB/T 19515.1-2017 半导体器件用氮化镓外延片 第1部分：通用规范

GB/T 19515.2-2017 半导体器件用氮化镓外延片 第2部分：测试方法

GB/T 19515.3-2017 半导体器件用氮化镓外延片 第3部分：尺寸和形状

GB/T 19515.4-2017 半导体器件用氮化镓外延片 第4部分：物理性能

GB/T 19515.5-2017 半导体器件用氮化镓外延片 第5部分：化学性能