水平法砷化镓单晶及切割片是半导体材料中的重要组成部分,广泛应用于电子、光电、通信等领域。为了保证产品质量,提高产品的可靠性和稳定性,制定了GB/T 11094-2020标准。
该标准主要包括以下内容:
1.术语和定义:对水平法砷化镓单晶及切割片中涉及到的术语和定义进行了说明,便于理解和使用。
2.物理性能:包括晶体结构、晶体缺陷、晶体取向、晶体外形、晶体尺寸、晶体表面状态等方面的要求。其中,晶体结构应符合砷化镓单晶的晶体结构,晶体缺陷应符合相关标准的要求,晶体取向应符合相关标准的要求,晶体外形应符合设计要求,晶体尺寸应符合相关标准的要求,晶体表面状态应符合相关标准的要求。
3.化学性能:包括杂质含量、晶体纯度、晶体组分等方面的要求。其中,杂质含量应符合相关标准的要求,晶体纯度应符合相关标准的要求,晶体组分应符合设计要求。
4.检验方法:包括晶体外形检验、晶体尺寸检验、晶体表面状态检验、杂质含量检验、晶体纯度检验、晶体组分检验等方面的检验方法。其中,晶体外形检验应采用目视检查和测量仪器检查相结合的方法,晶体尺寸检验应采用测量仪器检查,晶体表面状态检验应采用显微镜检查,杂质含量检验应采用化学分析方法,晶体纯度检验应采用光谱分析方法,晶体组分检验应采用X射线衍射分析方法。
5.标志、包装、运输:对水平法砷化镓单晶及切割片的标志、包装、运输等方面进行了规定,以确保产品在运输和使用过程中不受损坏。
相关标准
GB/T 11095-2011 砷化镓单晶生长用砷化镓粉末
GB/T 11096-2011 砷化镓单晶生长用砷化镓坩埚
GB/T 11097-2011 砷化镓单晶生长用砷化镓晶体
GB/T 11098-2011 砷化镓单晶生长用砷化镓坩埚涂层
GB/T 11099-2011 砷化镓单晶生长用砷化镓晶体取向