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磷化镓单晶是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子、微电子、光通信、太阳能电池等领域。为了保证磷化镓单晶的质量,制定了GB/T 20229-2022《磷化镓单晶》标准。
该标准主要包括以下内容:
1. 分类和命名
磷化镓单晶按照晶面朝向、杂质含量、晶体缺陷等因素进行分类和命名。其中,晶面朝向分为(100)、(111)、(110)三类;杂质含量分为P、N、I三类;晶体缺陷分为等位点、位错、气泡、裂纹等。
2. 质量要求
磷化镓单晶的质量要求包括外观、尺寸、杂质含量、晶体缺陷、电学性能等方面。其中,外观要求表面光洁、无裂纹、气泡等缺陷;尺寸要求符合规定的尺寸范围;杂质含量要求低于规定的限值;晶体缺陷要求符合规定的等级;电学性能要求符合规定的参数范围。
3. 试验方法
磷化镓单晶的试验方法包括外观检验、尺寸测量、杂质含量测定、晶体缺陷检测、电学性能测试等方面。其中,外观检验采用目视检查和显微镜检查;尺寸测量采用显微镜或光学投影仪等测量仪器;杂质含量测定采用质谱仪、电感耦合等离子体发射光谱仪等分析仪器;晶体缺陷检测采用X射线衍射、显微镜、扫描电镜等检测仪器;电学性能测试采用霍尔效应测试、电阻率测试、载流子浓度测试等方法。
4. 检验规则
磷化镓单晶的检验规则包括抽样、检验方法、判定原则等方面。其中,抽样按照批量、等级、生产时间等因素进行确定;检验方法按照试验方法进行;判定原则按照质量要求进行。
5. 标志、包装、运输和贮存
磷化镓单晶的标志、包装、运输和贮存按照规定进行。其中,标志应包括产品名称、规格型号、等级、生产厂家等信息;包装应符合运输和贮存要求;运输应注意防震、防潮、防晒等措施;贮存应注意温度、湿度等环境条件。
相关标准:
GB/T 20230-2022 磷化镓单晶衬底
GB/T 20231-2022 磷化镓单晶外延片
GB/T 20232-2022 磷化镓单晶晶体管
GB/T 20233-2022 磷化镓单晶太阳能电池
GB/T 20234-2022 磷化镓单晶激光器