1. 范围
本标准适用于刻蚀机用硅电极及硅环。

2. 规定
2.1 分类
硅电极和硅环分为以下两类：
- 类A：用于刻蚀非晶硅、多晶硅、氮化硅、氧化硅等材料。
- 类B：用于刻蚀硅基材料。

2.2 要求
硅电极和硅环应符合以下要求：
- 材料应为高纯度硅材料。
- 外形尺寸应符合设计要求。
- 表面应平整、光滑、无裂纹、无气泡、无杂质。
- 电极应具有良好的导电性能。
- 硅环应具有良好的耐蚀性能。

2.3 试验方法
硅电极和硅环应按以下试验方法进行检验：
- 外观检查：检查外形尺寸、表面质量等。
- 导电性能检查：采用四探针法测量电阻率。
- 耐蚀性能检查：采用刻蚀试验方法进行检查。

2.4 检验规则
硅电极和硅环的检验应符合以下规则：
- 检验应在生产前、出厂前进行。
- 检验应按照本标准的要求进行。
- 检验结果应符合本标准的要求。

2.5 标志、包装、运输和贮存
硅电极和硅环应按以下要求进行标志、包装、运输和贮存：
- 标志：应标明产品名称、型号、规格、批号、生产厂家等信息。
- 包装：应采用防震、防潮、防污染的包装材料进行包装。
- 运输：应注意防震、防潮、防碰撞等措施。
- 贮存：应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中。

相关标准
- GB/T 41651-2022 刻蚀机用氧化铝电极及氧化铝环
- GB/T 41653-2022 刻蚀机用氮化硅电极及氮化硅环
- GB/T 41654-2022 刻蚀机用氮化铝电极及氮化铝环
- GB/T 41655-2022 刻蚀机用碳化硅电极及碳化硅环
- GB/T 41656-2022 刻蚀机用钨电极及钨环