GB/T 12963-2022
电子级多晶硅
发布时间:2022-12-30 实施时间:2023-07-01
电子级多晶硅是一种用于制造太阳能电池、集成电路、光电器件等电子元器件的材料。本标准主要针对电子级多晶硅的纯度、杂质、晶粒度和电阻率等方面进行了规定。
1. 分类
根据电子级多晶硅的纯度和杂质含量,分为三个等级:一级、二级和三级。其中一级电子级多晶硅的纯度最高,杂质含量最低,适用于制造高性能的电子元器件。
2. 要求
电子级多晶硅应具有一定的晶粒度和电阻率,同时要求杂质含量低。具体要求如下:
(1)纯度:一级电子级多晶硅的纯度应不低于99.9999%,二级电子级多晶硅的纯度应不低于99.999%,三级电子级多晶硅的纯度应不低于99.99%。
(2)杂质含量:电子级多晶硅中的杂质元素应符合表1中的要求。
(3)晶粒度:电子级多晶硅的晶粒度应符合表2中的要求。
(4)电阻率:电子级多晶硅的电阻率应符合表3中的要求。
3. 试验方法
本标准规定了电子级多晶硅的试验方法,包括纯度试验、杂质试验、晶粒度试验和电阻率试验等。
4. 检验规则
电子级多晶硅的检验应按照本标准的规定进行,检验结果应符合本标准的要求。
5. 标志、包装、运输和贮存
电子级多晶硅应在包装上标明等级、纯度、杂质含量、晶粒度和电阻率等信息。在运输和贮存过程中,应注意防潮、防晒、防震、防污染等。
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