碳化硅单晶抛光片是一种用于制备半导体器件、光学器件等高精度表面的材料。本标准规定了碳化硅单晶抛光片的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存，以保证其表面质量、尺寸精度、平行度和光洁度等指标符合要求。

1. 分类
碳化硅单晶抛光片按照表面质量分为A、B、C三类。其中A类表面质量最高，C类表面质量最低。

2. 要求
碳化硅单晶抛光片应符合以下要求：
（1）尺寸精度：长度、宽度、厚度的偏差应符合表1的规定；
（2）平行度：两个相邻面的平行度应符合表2的规定；
（3）光洁度：表面光洁度应符合表3的规定；
（4）表面质量：应符合表4的规定。

3. 试验方法
碳化硅单晶抛光片的试验方法应符合以下标准：
（1）尺寸精度：GB/T 6060.1-2006；
（2）平行度：GB/T 6060.2-2006；
（3）光洁度：GB/T 6060.3-2006；
（4）表面质量：GB/T 6060.4-2006。

4. 检验规则
碳化硅单晶抛光片的检验规则应符合以下标准：
（1）尺寸精度、平行度、光洁度、表面质量的检验应按照表1、表2、表3、表4的规定进行；
（2）抽样数和接受数应按照GB/T 2828.1-2012的规定进行。

5. 标志、包装、运输和贮存
碳化硅单晶抛光片的标志、包装、运输和贮存应符合以下标准：
（1）标志：应按照GB/T 191的规定进行；
（2）包装：应按照GB/T 2828.2-2012的规定进行；
（3）运输：应按照GB/T 4857.1-2017的规定进行；
（4）贮存：应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，避免碰撞和挤压。

相关标准
GB/T 6060.1-2006 碳化硅单晶尺寸精度的测量方法
GB/T 6060.2-2006 碳化硅单晶平行度的测量方法
GB/T 6060.3-2006 碳化硅单晶表面光洁度的测量方法
GB/T 6060.4-2006 碳化硅单晶表面质量的测量方法
GB/T 2828.1-2012 抽样程序及抽样表的制定 第1部分：按计划抽样程序
GB/T 2828.2-2012 抽样程序及抽样表的制定 第2部分：单级抽样程序（标准限制质量）
GB/T 191 包装、贮存和运输图形符号
GB/T 4857.1-2017 包装运输图形符号 第1部分：一般运输标志