单晶炉是一种用于生产单晶材料的电热装置,广泛应用于半导体、光电子、磁性材料等领域。为了保证单晶炉的质量和性能,GB/T 10067.410-2014《电热装置基本技术条件 第410部分:单晶炉》对单晶炉的术语和定义、分类、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容进行了规定。
该标准首先对单晶炉的术语和定义进行了说明,包括单晶炉、单晶、晶体生长、晶体生长方法等。然后对单晶炉进行了分类,分为气相输运法单晶炉、液相输运法单晶炉、固相输运法单晶炉和其他单晶炉。接着对单晶炉的基本参数进行了规定,包括炉体尺寸、炉体材料、加热方式、温度控制方式、真空度、气氛控制等。
在技术要求方面,该标准规定了单晶炉的机械结构、电气系统、真空系统、气氛控制系统、温度控制系统、晶体生长系统、数据采集与处理系统等方面的要求。同时,还对单晶炉的安全性能、环境适应性、可靠性、维护性等方面进行了规定。
在试验方法方面,该标准规定了单晶炉的试验方法,包括机械性能试验、电气性能试验、真空性能试验、气氛控制性能试验、温度控制性能试验、晶体生长性能试验、数据采集与处理性能试验等。
在检验规则方面,该标准规定了单晶炉的检验规则,包括出厂检验、定期检验、不定期检验等。
在标志、包装、运输和贮存方面,该标准规定了单晶炉的标志、包装、运输和贮存要求,以确保单晶炉在运输和贮存过程中不受损坏。
相关标准
GB/T 10067.1-2005 电热装置基本技术条件 第1部分:通用规定
GB/T 10067.2-2005 电热装置基本技术条件 第2部分:电热元件
GB/T 10067.3-2005 电热装置基本技术条件 第3部分:电热设备
GB/T 10067.4-2005 电热装置基本技术条件 第4部分:电热控制设备
GB/T 10067.5-2005 电热装置基本技术条件 第5部分:电热工业炉