质谱检漏仪是一种用于检测真空系统中泄漏的仪器。在真空技术领域中，泄漏是一个非常重要的问题，因为泄漏会导致真空度下降，影响真空系统的性能。因此，质谱检漏仪的准确性和可靠性对于真空技术的应用至关重要。

本标准规定了质谱检漏仪的校准方法和要求。校准应在标准大气压下进行，校准气体为氦气。校准应包括以下内容：

1. 漏率校准：根据标准大气压下的漏率值，调整质谱检漏仪的灵敏度。

2. 质量分辨率校准：根据标准大气压下的质量分辨率值，调整质谱检漏仪的分辨率。

3. 质量准确度校准：根据标准大气压下的质量准确度值，调整质谱检漏仪的准确度。

4. 稳定性校准：根据标准大气压下的稳定性值，检查质谱检漏仪的稳定性。

5. 线性校准：根据标准大气压下的线性值，检查质谱检漏仪的线性。

校准结果应记录在校准证书中，并应定期进行校准。校准证书应包括以下内容：

1. 校准日期和地点。

2. 校准人员的姓名和签名。

3. 校准结果和误差。

4. 校准所使用的设备和标准。

5. 校准证书的有效期。

本标准的实施可以提高质谱检漏仪的准确性和可靠性，保证真空系统的性能和安全。

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