超高真空法兰是用于超高真空系统中的一种连接件，主要用于连接真空室、真空管道、真空泵等设备。本标准适用于超高真空系统中的法兰连接件。

超高真空法兰按照连接方式分为两类：法兰连接和卡箍连接。法兰连接分为圆形法兰和方形法兰两种，卡箍连接分为圆形卡箍和方形卡箍两种。超高真空法兰按照密封方式分为金属密封和橡胶密封两种。

超高真空法兰的型号和尺寸应符合本标准规定。超高真空法兰的材料应选用高纯度金属材料或高温耐腐蚀的陶瓷材料。超高真空法兰的表面应平整光滑，无裂纹、气孔、毛刺等缺陷。

超高真空法兰的技术要求包括密封性能、耐压性能、耐温性能、耐腐蚀性能等。超高真空法兰的密封性能应符合本标准规定的要求，密封面应平整光滑，密封垫应选用高纯度金属或橡胶材料。超高真空法兰的耐压性能应符合本标准规定的要求，超高真空法兰的耐温性能和耐腐蚀性能应根据实际使用情况进行选择。

超高真空法兰的试验方法包括密封性能试验、耐压性能试验、耐温性能试验、耐腐蚀性能试验等。超高真空法兰的检验规则和标志应符合本标准规定的要求。

超高真空法兰的包装、运输及贮存应符合本标准规定的要求，超高真空法兰应存放在干燥、无尘、无腐蚀性气体的环境中，避免碰撞和挤压。

相关标准
- GB/T 6070-2003 超高真空系统
- GB/T 6072-2003 超高真空泵
- GB/T 6073-2003 超高真空阀门
- GB/T 6074-2003 超高真空仪表
- GB/T 6075-2003 超高真空管道