涡轮分子泵是一种常用的真空泵，广泛应用于半导体、光学、电子、航空航天等领域。为了保证涡轮分子泵的性能和质量，需要对其性能参数进行测量。本标准就是为了规范涡轮分子泵性能参数的测量方法和要求。

本标准规定了涡轮分子泵的性能参数包括：抽速、极限压力、泵速、漏率、泵油量等。对于不同类型的涡轮分子泵，其性能参数的测量方法和要求也有所不同。本标准详细介绍了各种类型涡轮分子泵性能参数的测量方法和要求，包括：单级涡轮分子泵、多级涡轮分子泵、带气体球轴承的涡轮分子泵、带磁悬浮轴承的涡轮分子泵等。

本标准要求在测量涡轮分子泵性能参数时，应该使用标准试验装置，并按照标准试验程序进行测量。同时，还要对试验装置进行校准，确保测量结果的准确性和可靠性。对于测量结果不符合要求的涡轮分子泵，应该进行调整或修理，直到其性能参数符合标准要求为止。

本标准还规定了涡轮分子泵性能参数的报告内容和格式，包括：涡轮分子泵型号、试验日期、试验装置、试验条件、测量结果等。对于涡轮分子泵的性能参数报告，应该由涡轮分子泵制造商或者经销商提供，并应该在涡轮分子泵出厂前进行。

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