真空技术是一门涉及物理、化学、材料科学等多个领域的交叉学科，其应用范围广泛，包括电子、光学、航空航天、医疗、化工等领域。在真空技术中，术语的准确性和标准化非常重要，因为不同领域的专业术语可能存在差异，如果没有统一的标准，就会导致交流和合作的困难。

GB/T 3163-2007《真空技术 术语》规定了真空技术中常用的术语和定义，包括真空度、抽气速率、泵速、泵油、真空系统等。这些术语和定义的标准化，有助于不同领域的专家和研究人员之间的交流和合作，也有助于提高真空技术的研究和应用水平。

下面是一些在真空技术中常用的术语和定义：

1. 真空度：指单位面积上的气体分子数，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示。

2. 抽气速率：指单位时间内从真空室中抽出的气体体积，通常用升每秒（L/s）或立方米每小时（m3/h）表示。

3. 泵速：指泵单位时间内抽出的气体体积，通常用升每秒（L/s）或立方米每小时（m3/h）表示。

4. 泵油：指在真空泵中使用的润滑油，通常是矿物油或合成油。

5. 真空系统：指由真空室、泵、阀门、仪表等组成的系统，用于产生和维持真空状态。

相关标准
GB/T 12248-2005 真空技术 真空泵 抽气速率的测量方法
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